Для цитирования:

Глушко С.П. Выбор технологий нанесения пленок металлов методами физического осаждения. Advanced Engineering Research. 2020;20(3):280-288. https://doi.org/10.23947/2687-1653-2020-20-3-280-288

For citation:

Glushko S.P. Selection of technologies for metal film application using physical deposition techniques. Advanced Engineering Research. 2020;20(3):280-288. (In Russ.) https://doi.org/10.23947/2687-1653-2020-20-3-280-288